第一百五十九章 国产光刻机的曙光（3/5）

“其实我们也不是什么东西都要自己搞的，如今国内还是有一些科研机构或企业正在搞相关产业的，我们牵好头的话，带着他们搞，整体的投入还是可以控制的！”

“而且这说的是目前最顶级的EUV为核心的先进半导体制造产业链，如果把技术标准降低一些的话，比如现在的DUV干式光刻机，这个投入就不用这么大了！”

听到这话，徐申学稍微松了口气：“如果我们现在搞这个DUV干式光刻机的话，大概还需要多久，多少资金？”

王道林道：“我们公司现在的主要项目就是这个DUV干式光刻机，国内的光源，工作台，透镜这些其实问题已经不大，已经有了相应供应商，只是技术上还有一些差距，此外还有一些零部件存在国产化问题！”

“这部分零部件存在的国产化问题，再有个几亿美金投下去估计也就差不多了。”

“资金到位的话，最多两年时间我们就能够把完全国产化的DUV干式光刻机给做出来。”

“但是在生产效率肯定是不如国外先进产品的，这一点，希望集团方面有心理准备！”

徐申学道：“资金问题你不用担心，多了不敢说，但是十来亿美金什么的小意思！”

“只要把东西做出来，你也不用担心卖不出去，我们集团有芯片工厂，这个光刻机搞不来先进制程也可以用来做低端制程的产品！”

听了王道林的话，又看了看国内目前基础技术的一些资料，徐申学觉得情况比自己预估的稍微乐观一些。

DUV干式光刻机，这方面国内的技术其实还成，大方向已经搞得七七八八了，剩下的就是一些水墨功夫，哪怕没有自己参与，估计四五年后也能够搞出来。

而自己要做的就是，利用自己的资金以及科研系统，加速这一进程。

当即道：“集团投资的一些行业关联的子系统的公司目前也正在推动相关技术，你们这边也要努力，我期待你们的好消息！”

徐申学可从不指望国内现有的这些厂家，做事太墨迹了……

反正国内的基础技术也到位了，那么就自己砸钱，然后再加上科研系统辅助，争取尽快把DUV干式光刻机给弄出来……

DUV干式光刻机，可以用来生产九十纳米以及六十五纳米工艺这两个工艺节点的芯片。在最近几年还是有一些市场的，早点弄出来好歹喝点汤水回点本钱！

如果晚几年的话，连汤水都没得喝了。

徐申学仔细翻看了技术资料后，又道：“还有DUV浸润式光刻机，这东西更重要，技术进度也不能落下！”